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    TFT Mask 规格

    1、Normal Mask size (Unit: mm)

    TFT ARRAY TFT CF
    152.4×152.4×6.4 450×550×5.0
    330×450×5.0 508×609.6×5.0
    390×610×6.0 700×800×8.0
    520×610×10.0 800×920×8.0/10.0
    520×800×10.0 800×960×8.0/10.0
    800×920×10.0 850×1200×10.0
    850×1200×10.0 850×1400×10.0
    1220×1400×13.0 1220×1400×13.0

     

    2、CD Specification (Unit: um)

    Grade GTM C B A
    TFT ARRAY ±0.1 ±0.2 ±0.35 /
    TFT CF 0.2 ±0.35 ±0.50 ±0.75

     

    3、LTPS Mask Specification (Unit: um)

    CD MTT CD Uniformity Registration
    0.1 ±0.1 ±0.3

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